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產品簡介
全自動硅片甩干機LCS系列立式旋轉沖洗甩干機本機是主要應用于太陽能電池和半導體硅片等的沖洗甩干工藝環節，具有容量大、效率高的特點。
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全自動硅片甩干機是一種專門用于半導體制造過程中的高精密設備，主要用于清洗和干燥硅片。這種設備通過自動化的流程，能夠高效地去除硅片表面的水分和其他殘留物，確保硅片的清潔度和干燥度，從而滿足后續工藝的要求。
主要特點：
1.彩色液晶觸摸屏實時監控，可存儲多種工藝菜單
2.腔體和轉架采用316不銹鋼，電化學拋光處理
3.去離子水電阻率監控功能
4.無刷電機驅動
5.氮氣溫度控制
6.轉軸氮氣密封
7.具有鎖蓋防護功能
8.故障診斷、顯示、報警功能
9.可提用戶特殊要求配置
全自動硅片甩干機采用高潔凈度的旋轉沖洗甩干功能，能夠適應不同直徑和形狀的片式材料的清洗需求。設備設計可以適應不同直徑的硅片，包括方形和其他特殊形狀的材料。
設備采用全自動控制，包括去離子水沖洗和加熱的氮氣干燥，實現晶片襯底后的濕化學方法的自動化處理。具備多項技術性能指標，如電源電壓、頻率、功率、絕緣電阻等，確保操作的安全性和穩定性
包括使用氮氣和去離子水的相關安全性技術要求，如壓力、耗量、接口管徑和過濾精度等部分設備采用PLC和觸摸屏控制，實現整個過程的智能化，具有故障實時顯示和報警功能。設備設計考慮了節能和效率，如整個甩干過程一般只需5-6分鐘。主要部件采用耐腐蝕不銹鋼，并進行電化學拋光處理，以提高設備的耐用性和清潔度。旋轉機構經過精密動平衡處理，保證工作時的平衡性，并采用特種減振器以實現精密減振和阻尼。
設備支持多種硅片規格、不同尺寸的掩模，滿足不同應用需求。
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